二手 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9156928 待售

MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000是一種蝕刻/asher系統，旨在使基板基板的生產具有高精度的蝕刻和底切特性。PX 1000非常適合半導體、顯示器和MEMS應用,因為它能夠精確控制蝕刻過程,並且可以靈活地將較小的基板蝕刻到較大的尺寸。MARCH INSTRUMENTS PX 1000采用LAM，或激光燒蝕加工。PX 1000由激光束和受控但可調節的基板級組成。這使得蝕刻過程能夠精確完成，同時聲稱的高吞吐量率高達每小時10,000晶圓。MARCH INSTRUMENTS PX 1000有S基板版本、T基板版本兩種型號。S基板版本設計為蝕刻350 um至8 mm不等的基板，而T基板版本設計用於350 um至4 mm之間較小的基板。PX 1000配備了晶片邊緣定位技術，允許晶片相對於其中心精確定位。這提供了精確的蝕刻，並允許晶片被切割與最佳角度對準。MARCH INSTRUMENTS PX 1000還具有主動基板調平能力，在有限的區域內補償弓和傾斜精確到5微米。PX 1000能夠提供較高的光刻精度,且角蝕刻公差小於1度。晶圓級的熱控制也很精確，溫度範圍為15至25攝氏度。MARCH INSTRUMENTS PX 1000能夠同時蝕刻石英和玻璃基板，並且100%的潔凈空間兼容。符合EMC和CE等行業標準,並且該機器也符合環境要求,如RoHS。PX 1000具有用戶友好的界面,並包含診斷程序,使操作員能夠監視機器的狀況並確定所需的任何維護。該系統配有機載計量軟件，用於維護過程控制，以及用於晶圓監控的軟件。MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000是一款基於精確和性能設計的蝕刻器/asher系統。它具有較高的光刻精度、精確的熱控制和晶圓邊緣定位能力。此外,它易於使用,並符合行業標準,因此適合各種半導體、顯示器和MEMS應用。