二手 MARCH INSTRUMENTS PX-250-09/00 #293587023 待售

ID: 293587023
Plasma ashers (2) Gases Maximum panel size: 8".
MARCH INSTRUMENTS PX-250-09/00是一種最先進的等離子體蝕刻器/灰化器,旨在為各種半導體和材料研究應用提供精確、均勻的蝕刻和灰化工藝。這款高度先進的工具集成了尖端技術,提供可靠、可重復的成果,成為微電子制造和研究實驗室不可或缺的工具。PX-250-09/00的核心是其先進的等離子體加工室,其設計目的是為蝕刻和灰化過程創造一個高度受控的環境。該腔室由耐化學腐蝕和高溫的高質量材料構成,確保了長期的可靠性和性能。該室還配備了一系列安全功能和監控系統,以確保操作員的安全和過程的完整性。PX-250-09/00的等離子體生成設備基於射頻(RF)等離子體技術,使密度、溫度、組成等等離子體參數的精確控制成為可能。該技術允許定制蝕刻和灰化工藝,以適應不同材料和設備結構的特定要求。射頻等離子體系統與高性能真空泵送單元耦合,在整個處理周期中保持所需的過程壓力和氣體流速。PX-250-09/00的一個主要特點是其先進的氣體輸送機,它可以精確控制過程中的氣體和流量。該工具配備了質量流量控制器和壓力調節器,使氣體能夠準確地沈積到加工室內。這樣可以確保一致的過程均勻性和可重復性,從而獲得高質量的蝕刻和灰化結果。該PX-250-09/00還配備了先進的射頻電源,可精確控制應用於等離子體發電資產的功率水平。這允許優化離子能量和密度等等離子體參數,這對於實現所需的蝕刻和灰化率至關重要。RF電源與實時監控模型集成在一起,使操作員能夠連續調整過程參數以獲得最佳性能。除了先進的處理功能外,PX-250-09/00還具有用戶友好的界面,便於操作和監視蝕刻和灰化過程。設備配有觸摸屏控制面板,可訪問所有流程參數和監控工具。界面還包括數據記錄和分析功能,允許用戶跟蹤流程性能並優化流程配方以提高結果。總之,MARCH INSTRUMENTS PX-250-09/00是一種高度先進的等離子體蝕刻器/灰化器,為精密、均勻的蝕刻和灰化工藝提供尖端技術。憑借其先進的等離子體加工室、射頻等離子體系統、氣體輸送單元和射頻電源,這一工具旨在滿足半導體和材料研究應用的苛刻要求。其用戶友好的界面和先進的監控能力使其成為廣泛的微電子制造和研究應用的通用工具。
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