二手 MARCH / LKT FlexTRAK #9396547 待售

MARCH/LKT FlexTRAK是LKT Instruments的一個創新蝕刻器/asher單元。這種堅固可靠的設備為用戶提供了微電子、先進半導體封裝和MEMS制造等多種蝕刻工藝。LKT FlexTRAK裝置具有業界領先的多步蝕刻工藝專利,可減少循環時間,從而提高各種材料（包括銅、氧化鋁、矽、玻璃和其他精致基板）的吞吐量和產量。MARCH FlexTRAK的高級功能包括用於改進工藝性能的多氣體混合、用於最大蝕刻效率的雙排氣口以及用於節省空間的低調設計。其4.7英寸液晶彩色觸摸屏用戶友好，提供狀態和報警指示的圖形顯示。它具有高度可配置的功能,可擴展多達8個流程模塊。這允許用戶自定義其流程操作,以最好地滿足其獨特的要求。此外,FlexTRAK還配備了許多有用的安全功能,以確保安全運行,包括記錄和跟蹤流程活動的審核功能、緊急停止按鈕以及改進的屏蔽功能,以防止發生任何意外的等離子體活動。MARCH/LKT FlexTRAK在眾多市場和行業的各種高級蝕刻應用程序中提供卓越的性能。它非常適合多種材料，包括Si、SiGe、GaAs、GaN，以及其他用於半導體制造的優質材料。高效的組件、易於維護和值得信賴的網絡都是LKT FlexTRAK的標誌。MARCH Instruments致力於為客戶提供最優質的蝕刻器/asher。MARCH FlexTRAK以業界領先的保修和各種高級功能為後盾,確保其客戶的卓越性能,並能夠制造出任何精致的基板。憑借其可靠的可靠性和多功能性,FlexTRAK確保為用戶提供卓越的蝕刻工藝效果和最大吞吐量。