二手 MARCH P-1000 #9184478 待售

MARCH P-1000是一種等離子體蝕刻器/asper，一種用於半導體和電子工業的機器，用於蝕刻、離子銑削和其他相關工藝。該機基於先進的MAGIC（磁控輔助氣體註入室）技術，有助於有效控制工藝參數，減少等離子體負荷。它是一臺全自動機器，配有觸摸屏，可以讓用戶輕松設置和控制過程參數。P-1000能夠在4到6英寸的多個晶圓尺寸上工作，並配有兩個氣體噴嘴，用於控制空氣或惰性氣體流動。這有助於優化等離子體輪廓和濺射速率。該機還設有遠程等離子體發生器，使用戶可以方便地監控過程，並根據使用的材料類型調整參數。該機具有高性能離子源，產生強大的離子用於蝕刻和濺射操作。其強大的磁控管有助於制造均勻的離子轟擊，減少暗線缺陷的發生。為進一步提高其性能，該機配備了一個獨立的、高分辨率的氣閥系統，用於控制和監測過程中的惰性氣流。此外，機器還具有壓力、溫度、射頻功率等多個可編程的用戶定義參數，允許用戶根據自己的應用量身定制蝕刻過程。MARCH P-1000機效率高、可靠，可連續操作，長期運行，停機時間最短。其先進的安全措施通過在超過安全限值時阻斷機器的功能來確保操作員的安全。該機器還具有自我監控程序，有助於及早發現和預防故障。這些健壯的特性使P-1000成為半導體工業中蝕刻和濺射應用的最佳選擇。