二手 MARCH Plasmod #9058869 待售

MARCH Plasmod是一種最先進的蝕刻技術，用於制造各種材料表面的納米級圖案。它利用物理化學過程的組合，如深反應離子蝕刻（DRIE）和原子層沈積（ALD），在表面上形成化學上不同的圖案。Plasmod設備是一個集群工具，由幾個模塊組成，以實現模塊化的方式來設計納米尺度特征。例如，核心模塊包含等離子體源和蝕刻/清潔室，以及一組電極。除此之外，每個模塊可能包含一組不同的氣體、通量和沖洗連接系統、壓力控制器、電源和互鎖。使用MARCH Plasmod系統的第一步是為蝕刻工藝準備合適的基材。這是通過在基板中創建具有高表面積的陣列來實現的。這是通過結合光刻、射頻濺射和化學蝕刻技術來完成的。一旦完成，基板就被放置在Plasmod單元的核心模塊中。一旦進入核心模塊，基板就暴露在高功率和低頻的射頻等離子體中。這會產生強烈的蝕刻化學反應與被蝕刻的材料，導致所需的圖樣在表面上。在這個過程中，基板需要進行清潔、蝕刻速率和溫度的監測，通過調節功率水平和氣體流量可以根據需要進行調節。一旦蝕刻完成，MARCH Plasmod機可用於原子層沈積（ALD）過程。ALD是一種沈積技術，用於在基板表面創建均勻的薄膜。這是通過交替將底物暴露於兩種不同的前體，然後將它們聚合形成材料的單原子層來完成的。一旦沈積過程完成，基板就被清洗，準備從Plasmod工具中取出。根據應用類型的不同，特征大小可以從幾納米到幾微米不等。MARCH資產也可用於金屬、陶瓷、聚合物等材料。綜上所述，MARCH Plasmod是一種先進的蝕刻模型，能夠在廣泛的基板上創造納米尺度的特征。