二手 MARCH Plasmod #9100079 待售

MARCH Plasmod是一款蝕刻器/asher，專為研發先進材料而設計，應用範圍廣泛，從半導體技術到醫療儀器。Ashing過程用於創建均勻的薄膜層,從基板表面移除不需要的元件,從而可以精確控制薄膜尺寸和特征尺寸。蝕刻和灰化過程使用精確結合溫度、壓力和流速的氣體混合物來去除和或燒蝕不需要的材料。等離子體的核心部件由工藝室、預淋浴、加熱器、氣源、氣體歧管、冷卻單元和螺線管控制閥組成。多用途蝕刻器/asher的模塊化設計允許用戶從各種可定制以創建特定應用程序的流程選項中進行選擇。MARCH Plasmod 蝕刻器/asher具有先進的加熱技術,可精確控制溫度、清潔和蝕刻過程。它還具有具有可變電阻和感應加熱能力的多工程腔室，以及四條獨立的氣體管線，以實現完整的工藝控制。采用0~3300 SCCM的可選擇氣體流量優化腔室尺寸，非常適合小批量或大批量生產。Plasmod的結構采用了先進的材料，並具有耐腐蝕、高真空等級的不銹鋼內飾，以實現最大的耐用性。MARCH Plasmod還采用了用戶友好的可編程功能，能夠快速、精確地控制工藝參數。它有封閉式和開放式兩種樣式,可用於容納各種應用程序。等離子體設備提供了許多高級功能,以確保精確、可重復和經濟的過程。其直觀的圖形用戶界面旨在輕松調整灰化過程的復雜參數。該系統還具有自動化的過程控制、充足的可編程功能以及全電路報警監控功能，以提高生產率和成本效率。此外,MARCH Plasmod還包括高級安全功能,可保護用戶免受意外接觸有害材料的影響。總體而言，Plasmod 蝕刻器/asher是為先進材料研發而設計的先進可靠單元。它具有模塊化設計、直觀的用戶友好圖形界面、高級過程控制、自動化過程控制以及眾多安全功能。MARCH Plasmod是為各種應用尋求可靠、經濟的蝕刻和灰化工藝的人的理想機器。