二手 MARCH Plasmod #9225186 待售

MARCH Plasmod是一種反應性離子蝕刻（RIE）asher設備，設計用於執行蝕刻和一般的灰化過程。它是為高通量蝕刻而量身定制的，因為它能夠同時處理多個樣品。該系統可通過其觸摸屏用戶界面進行控制,該界面允許精確的蝕刻和處理功能。該機組利用高頻13.56 MHz電源產生等離子體能量，提供高功率RIE處理能力。這種能量也被用於瞄準和蝕刻樣品表面，提供幹凈、高分辨率的結果。該機器進一步利用氣體輸送工具進行精確處理。每個過程都可以使用內置控制器進行微調，允許開發各種蝕刻配方，並存儲在控制器內以供將來使用。該資產還具有內部真空泵模型，允許在蝕刻過程中快速、高效地改變氣體。該設備在一個多溫度控制的真空室內運行，與單個真空室系統相比，可以提供更高的等離子體損傷保護。這進一步確保了蝕刻的結果具有很高的一致性和質量。降低協議的復雜性是系統的一個關鍵功能,允許經驗豐富的用戶在幾分鐘內設置協議。此外,還對用戶界面進行了定制,以減少在創建協議時聯鎖和調整每個參數的數量。該單元與一系列樣品材料兼容，包括矽、有機物、無機物等等。它能夠在一次運行中蝕刻幾種類型的材料,從而為原型設計或樣品變化測試提供更大的靈活性。該機結合了設計特點，以確保最佳蝕刻模式。這些包括減少反應性離子和等離子體汙染、自動壓力控制和可重復的過程結果。該工具的設計考慮了安全性、性能和靈活性,使其成為任何蝕刻工藝的理想合作夥伴。