二手 MARCH Plasmod #9234905 待售

MARCH Plasmod是一款高科技、全自動蝕刻和灰塵設備，設計用於微電子器件的制造和材料沈積。利用高頻無線電波有選擇地在半導體晶片或其他基板上沈積或蝕刻微電子結構。該系統獨特的物理氣相沈積技術提供了高精度、低溫的工藝，可以針對各種材料和應用進行量身定制。該裝置的特點是具有高沈積和蝕刻速率的等離子體源，以及提供全面現場缺陷監測的集成火焰成像機。等離子體可以在300至1000°C的廣泛溫度範圍內進行精確、可重復的蝕刻和沈積過程。每個周期的高速、無人操作過程一直持續到完成,並提供出色的可重復性和控制性。由於材料和氣體種類繁多，該工具可根據具體材料、工藝和環境要求量身定制。它還能夠進行復雜的模式和缺陷分析。自動化資產包括一個集成的軟件包,該軟件包具有可定制的編程功能,可根據用戶的特定需求進行調整。它配備了實時過程控制模型，確保產品質量一致，並提供在沈積或蝕刻過程中調整和監控參數的能力。該設備的設計為材料沈積提供了幾個優點，包括高電導率、低介電常數、低電阻率和低溫運行。MARCH Plasmod先進的計算機輔助設計軟件使其能夠適應各種各樣的材料和應用環境。等離子體是微電子器件制造和其他需要高精度和重復性的應用的理想選擇。它非常可靠，易於操作，並且能夠產生可靠、高質量的模式。它具有自動化操作和快速、準確的沈積，被證明是一種寶貴的生產工具。柔性系統可以量身定制，以適應各種基材和工藝，是可靠蝕刻和沈積性能的行業標準。