二手 MARCH PM-600 #9118779 待售

MARCH PM-600是一個自給自足的等離子體蝕刻器/asher理想的工業生產和科學/研究用途。作為一種高效的等離子體蝕刻/灰化工藝,PM-600設計用於不銹和非金屬基板的精確、快速和安全的蝕刻/灰化。設備配有三級真空室，由低速直驅旋轉泵驅動，性能優越。該室配有一個綜合臭氧檢測系統，可在蝕刻/灰化過程中對真空單元內的殘留臭氧汙染進行簡單和準確的測量。MARCH PM-600采用高分辨率、可編程和可調節的掃描級，將基板精確定位在射頻線圈下。這樣可以快速、精確地蝕刻和粉刷具有均勻性和可重復性的基板。提供給基板的射頻能量可以通過可變電源進行精確控制，並且可以針對不同的蝕刻/灰化過程進行調整。PM-600具有氣流控制機,可對蝕刻/灰化氣體進行精確的流量和壓力調整,進一步全面控制蝕刻和灰化變量。此外，該工具還包括冷卻氣體電路，以冷卻基板，以實現最佳的工藝可重復性。該資產具有用戶友好的圖形用戶界面和可配置的流程參數,以實現最大的靈活性和易用性。MARCH PM-600專為工業和研究應用而設計，可用於半導體、醫療、電子等相關領域。PM-600具有可靠的性能和堅固的結構,是任何蝕刻/灰化應用的理想選擇。