二手 MARCH PM-600 #9139715 待售

MARCH PM-600是一種高精度的自動蝕刻/asher設備,專為各種基板的超高效蝕刻和曝光而設計。系統采用先進的並行技術，允許較高的吞吐量速率。該單元能夠蝕刻多種基板，包括：矽、GaAs、AlGaAs和其他III-V材料。該機具有8英寸大的蝕刻區域，允許同時處理多個晶片。該工具還包括用於精確查看和檢查過程的遠程視頻光學資產。video光學器件可由用戶調節,以確保蝕刻參數保持在指定的公差範圍內。該型號配備了兩把獨立式濺射槍，便於在濺射和化學蝕刻過程之間轉換。這允許用戶在旋鈕轉彎時快速高效地在蝕刻過程之間切換。PM-600還配備了自動防護功能。它具有獨特的空氣流通設備，確保用戶的安全和蝕刻過程的完整性。系統還配備了自動關閉開關，以確保設備在工作時不會處於暴露狀態。本機采用高功率、變頻射頻發電機.這使刀具能夠處理各種射頻頻率，並確保所有必要的蝕刻參數都得到精確控制。資產還配備了先進的自動化軟件，以確保精確的流程，並最大限度地減少出錯的可能性。綜上所述，MARCH PM-600是一個高度通用和精確的蝕刻/asher模型，是理想的更廣泛的基材品種。該設備能夠提供高吞吐量,具有精確的控制和保護功能,以實現安全、準確的蝕刻過程。