二手 MARCH PM-600 #9160093 待售

MARCH PM-600 蝕刻器/asher是一種功能強大的自動化蝕刻器和asher設計用於半導體行業。它使用等離子體蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）在晶圓和其他基板上創建精確、高長寬比的特征。PM-600設計用於高容量制造精密設備,例如集成電路和其他納米級組件。MARCH PM-600是一種高通量的蝕刻器/asher,旨在最大程度地減少蝕刻生產所需的時間。它有一個自動化的加工室，密封和操作在一個超清潔，受控的環境。該工藝室具有低壓、低溫蝕刻操作，允許嚴格控制蝕刻速率。該工藝室還配備了雙源設備，可獨立控制蝕刻劑和蝕刻目標。此雙源系統允許對蝕刻速率和反轉邊蝕刻輪廓進行精細控制。PM-600配備了多種功能，以方便蝕刻過程。它具有高分辨率的串聯成像單元,可實現快速、精確的對齊。它還有一個通用氣體面板，允許精確控制蝕刻化學。MARCH PM-600還配備了實時粒子監視器和逐步蝕刻、二維剖析功能，根據用戶定義的設定點提供動態蝕刻調整。PM-600提供了高效生產精密設備所必需的保形蝕刻和高通量能力。其串聯成像機和受控環境在晶圓等基板上創建高長寬比特征方面發揮著重要作用。MARCH PM-600允許使用各種蝕刻工藝配方,包括離子蝕刻、化學蝕刻和通過數字控制器技術編程的逐步蝕刻配置文件。該單元還具有通用氣體面板,可精確控制蝕刻化學。PM-600設計用於半導體行業，提供高效、通用的蝕刻能力，以滿足納米設備行業的加工需求。