二手 MARCH PX-1000 #142222 待售

MARCH PX-1000 Etcher/Asher是一種現代化、先進的幹蝕刻和灰化設備,它利用等離子體功率將各種材料精確蝕刻和灰化到各種不同的級別和復雜程度。該系統由基礎單元、控制單元、自動電極控制器、石英蝕刻/灰室組成。MARCH PX 1000可以加工晶片和基板，尺寸可達6英寸（150毫米）。基材的相容性範圍從金屬到陶瓷、石英、玻璃。PX-1000的高級控制單元能夠在每次提供各種配方時獲得可重復的結果，以及可定制的選擇以涵蓋典型的大批量蝕刻過程，以及一次性、研發風格的活動。包括自動電極維護，機器自動補償電極侵蝕和磨損隨著時間的推移。該DR-1000能夠在1016 Torr （134 mBar）和91 Watts時達到每晶圓10秒的處理速度,並增加了達到最佳端點的步驟。氣流是高度可調的，由多達四種工藝反應堆氣體和多達三種用於試劑/蝕刻添加劑和清潔氣體的軟管組成。石英室設計有多個超低泄漏、射頻環以及防輻射罩和可調節的PTFE淋浴頭。該腔室具有高度可調性，為組件提供了許多安全安裝的機會，在處理過程中提供了很大程度的靈活性。PX 1000為等離子體蝕刻工具提供了最高的精確度,使其非常適合研發活動和生產方式。MARCH PX-1000是包括Al、Cu、Cu合金、Fe、SiC等多種材料的理想選擇。它還提供了集成電路、復合半導體器件和MEMS器件等蝕刻/灰分應用所需的靈活性。MARCH PX 1000作為交鑰匙蝕刻解決方案存在,具有嚴格的重復性和卓越的長期可靠性。