二手 MARCH PX-1000 #293647792 待售
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MARCH PX-1000是一種用於半導體制造的蝕刻/灰化設備。它是一種先進的等離子體蝕刻和剝離工具，專門設計用於快速蝕刻和去除金屬、聚合物、氧化物等材料。MARCH PX 1000采用多種技術和優化的工藝參數,在保持高吞吐量的同時,達到高質量的效果。PX-1000將高密度等離子體蝕刻和物理剝離工藝集成到其蝕刻系統中,從而使材料的蝕刻具有比其他蝕刻系統更高的選擇性。它還提供了對各種蝕刻參數的精確控制，以實現最佳的工藝控制和物料去除率。憑借其集成的計算機控制單元，PX 1000可以精確監控、測量、調整氣體流量、壓力、溫度、壓力比等工藝參數。MARCH PX-1000還提供了多種功能,包括功能強大的自動配方控制機、先進的實時端點檢測工具以及有助於延長工藝室壽命的雙級等離子體清洗功能。MARCH PX 1000采用多腔室和水槽設計,提供了最佳的靈活性和工藝穩定性.此外，其先進的真空資產保持了高質量的氣氛，並允許一系列不同的真空水平。PX-1000非常適合各種應用,從薄金屬和介電層的晶圓級蝕刻、薄膜金屬升空和金屬表面整形到厚金屬的高長寬比蝕刻、金屬去除和晶體管鈍化。憑借其先進的蝕刻和剝離能力，PX 1000對於當今許多現代半導體制造工藝來說是非常有效和可靠的。
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