二手 MARCH PX-1000 #293701620 待售

MARCH PX-1000是一種用於加工大型基板的高可靠性蝕刻器/灰度設備。該系統非常適合生產平板顯示器、太陽能電池、半導體和MEMS設備。蝕刻器/asher利用垂直板型腔室進行蝕刻和灰化處理。這樣可以對尺寸不超過514mm的基板進行均勻的蝕刻和粉刷,並具有高度的可重復性。該單元最多配備四個獨立的PM模塊，為多種蝕刻和灰分配方提供必要的靈活性。MARCH PX 1000提供金屬、多晶矽和矽沈積物的超低升華速率和高蝕刻選擇性。用於蝕刻和灰化的等離子體源包括功率高達4kW的多頻射頻發生器。采用渦輪分子泵消除廢氣和產生的顆粒，這是工藝均勻性和良好蝕刻剖面所必需的。腔室有一個選擇的基板級選項，如旋轉或線性樣品處理。提供專用基板加熱器機，以維持基板溫度最高可達250攝氏度。基板加熱是基於時間的溫度控制或作為加熱區剖面.腔室內的溫度均勻度± 3°C或更高。PX-1000還可以通過自動貨車發射和集成蝕刻負載鎖定系統等附加功能進行定制。PX 1000采用高熱機械穩定性的零件和材料，設計方便安裝維護。O2和N2氣體引入和抗氧性等選項也可供選擇。此蝕刻器/asher工具是生產應用程序的可靠主力,需要統一且可重復的蝕刻和灰化結果。