二手 MARCH PX-1000 #293711097 待售

MARCH PX-1000是一種先進的蝕刻和灰化設備，設計用於處理各種材料，包括各種半導體、陶瓷和其他基板。它為用戶提供了精確可靠的蝕刻工藝，能夠創建精確的圖樣、凹坑和溝槽，以及石墨、矽、銅等材料的精確灰化工藝。MARCH PX 1000具有先進的過程氣體輸送系統,包括微米濾波器、數字質量流控制器和分配歧管。這確保了過程氣體的穩定和精確流動，從而產生精確的蝕刻結果。該蝕刻單元還具有先進的工藝控制功能，允許對包括腔室壓力、射頻功率、工藝氣體比等重要蝕刻參數在內的所有蝕刻參數進行精確控制。機器裝有自動溫度控制模塊，允許用戶在蝕刻和灰化過程中進行精確的溫度控制。這確保了對蝕刻深度和灰度質量的精確控制,同時消除了對材料表面的熱損壞。再者，自動快門可以用來減少任何空氣傳播顆粒的流動，提高蝕刻表面的質量。PX-1000還具有高精度、全封閉的CO2激光工具，能夠進行高速、高精度的蝕刻和灰化工藝。它可以以高達100 nm的精度進行蝕刻，也可用於幹蝕刻和幹灰處理。此外，它還具有雙頻射頻線圈，允許單面和雙面蝕刻工藝。先進的激光資產讓用戶實現高精度、高通量的成績。該模型通過用戶友好的觸摸屏界面進行控制,用戶可以快速設置和控制蝕刻和灰化過程。此外，它還配備了自動端點檢測設備，在蝕刻或灰化過程結束時為用戶提供詳細報告。本報告可用於進一步審查和分析蝕刻或灰化工藝的質量。為進一步提升安全性，PX 1000蝕刻和ashing系統設有緊急停止按鈕，一旦啟動便自動停止任何蝕刻或ashing過程。此外,整個蝕刻器還提供了一個高級警報單元,當任何進程參數偏離設置值時,該單元都會通知用戶。這些功能為機器提供了更好的安全性和可靠的操作。