二手 MARCH PX-1000 #293765898 待售

MARCH PX-1000是一款功能強大且可靠的蝕刻器/asher，專為各種半導體材料的精密處理而設計。它是一種先進的蝕刻和灰化設備，能夠承受高溫和等離子體過程。MARCH PX 1000具有一個專利雙面蝕刻和灰化室，容量可達8.9升。這種蝕刻和灰化系統提供了1.5 μ m的極其精確的蝕刻和灰化分辨率,非常適合處理各種薄層。PX-1000配備了廣泛的可調參數，包括溫度、壓力、壓力控制和射頻功率，以優化蝕刻輪廓以及蝕刻和灰化結果的重復性。此外,它還具有分辨率為0.1°C的高精度溫度控制單元,為每個應用程序提供精確的溫度控制。該機還具有先進的過程控制界面，以提供一致和安全的操作。此外,由於其先進的安全功能,PX 1000提供了可靠的工藝安全。它配有壓力和溫度傳感器，以確保過程安全，並且可以配有惰性氣體凈化工具，以保護制造的材料免受氧氣和其他環境汙染物的影響。此外，該資產還具有高壓放電機構以精確控制腔內壓力，氣體流量低以避免幹燥蝕刻不足。高性能的MARCH PX-1000物有所值。它小巧輕巧，可以輕松集成到任何生產型號中。而且設備精度高、可重復，為多種應用提供一致可靠的結果。因此,MARCH PX 1000實現了適合大多數生產環境的高端精密蝕刻和灰化效果。