二手 MARCH PX-1000 #9021103 待售

MARCH PX-1000是一種用於制造微電子器件的蝕刻器/asher。它是一種全自動設備，能夠使用高溫等離子體工藝蝕刻、制圖和清潔基板。它配備了一系列特性和功能，使其成為蝕刻和去除基板上不需要的材料的理想工具。MARCH PX 1000的核心采用高溫等離子體蝕刻器，創造出一個非常適合微電子器件精密蝕刻的惰性環境。該系統配備了多條可互換的氣線和氣源，允許一系列基板材料兼容性和腔室壓力從0.13 mtor到500 millitor不等。此外，該裝置具有每晶圓約45至60秒的快速循環時間，使其能夠以節省時間的方式快速蝕刻和去除基板上不需要的材料。PX-1000還具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）,允許用戶輕松訪問和控制其所有功能。它配備了一套功能,例如高級流程配方編輯和歸檔、高級傳輸/加載規劃以及實時監控,可為用戶提供對每個流程步驟的全面控制和靈活性。此外，該機還配備了革命性的數字微波等離子體發生器，其設計目的是顯著提高處理速度，同時提供精確的優化蝕刻結果和極其精確的重復性。PX 1000還被設計為超過半導體和相關行業嚴格的環境安全要求的要求。憑借其眾多的安全特性、對工具的全面了解以及先進的工程，MARCH PX-1000能夠滿足任何微電子器件制造應用的需要。總之，MARCH PX 1000是一種先進的全自動高溫等離子體蝕刻器/asher資產，非常適合微電子器件的制造應用。PX-1000具備多種特性和功能,能夠以快速的循環時間和精確的重復性,以及操作人員友好的可用性和先進的安全標準對基板進行蝕刻和清潔。