二手 MARCH PX-1000 #9094923 待售

MARCH PX-1000是一種高性能的蝕刻器/asher設備，其先進的等離子體工藝技術能夠可靠地提供卓越的效果。MARCH PX 1000具有集成的蝕刻、灰化和薄膜沈積功能,是研發、半導體、MEMS和電子制造中更具挑戰性的應用的理想選擇。PX-1000蝕刻器/灰化器能夠蝕刻各種材料，包括金屬、陶瓷、聚合物以及其他難以蝕刻和難以清潔的基材。該系統的最大蝕刻速率高達0.5 μ m/min,蝕刻圖樣分辨率降至1 μ m,在高吞吐量時可提供非常精細和精確的結果。PX 1000還配備了先進的等離子體單元，能夠在廣泛的蝕刻和灰化應用中產生氧化或類似CVD的等離子體。MARCH PX-1000還提供了更大的過程控制，因為它配備了一個集成的數字控制機器，可以監控蝕刻過程並根據需要調整等離子體參數。這允許操作員根據特定的應用程序要求自定義其蝕刻和灰化配方。此外，MARCH PX 1000與原位診斷兼容，允許操作員實時監控過程，以確保正確徹底的蝕刻和灰化。除了其卓越的蝕刻和灰化能力外，PX-1000還配備了內置的薄膜沈積能力。此功能允許用戶將一個或多個所需厚度的薄膜沈積到晶片目標上。這對於涉及新型材料研究的應用或創建功能性塗層或設備特別有用,使PX 1000成為廣泛的研究和制造應用的通用且功能強大的平臺。綜上所述，MARCH PX-1000 蝕刻器/asher工具是一種強大而可靠的工具，用於各種蝕刻和灰化應用以及薄膜沈積過程。MARCH PX 1000憑借其先進的等離子體技術、精密的數字控制資產和集成的薄膜沈積能力,在廣泛的研究和制造應用中為高性能蝕刻和灰化提供了高效、高效、精確的平臺。