二手 MARCH PX-1000 #9100080 待售

MARCH PX-1000 Asher/Etcher是一種10級潔凈室兼容、高產量、全自動的設備，用於半導體晶片的灰化（去除有機材料）和蝕刻（去除金屬材料）。MARCH PX 1000設計用於清潔晶片,使其可用於進一步制造步驟。PX-1000為先進的半導體器件制造提供了最高的吞吐量和最幹凈的處理。PX 1000獨特的腔室設計將晶片作為一批旋轉，將化學物質均勻地分散在晶片表面，從而確保均勻的均勻蝕刻和灰化結果。MARCH PX-1000提供了在+-2°C範圍內的溫度控制，以解釋加工變化，而其經過驗證的流量控制確保化學物質甚至沈積在晶圓上。MARCH PX 1000配備了一個載波載荷端口，確保了潔凈室的兼容性，同時還允許用戶一次加載多達八個盒式磁帶，大大提高了系統的吞吐量。此外,設備還配有晶片感應開關,該開關在啟動過程序列之前檢測晶片的存在,並在蝕刻/灰化過程中監視電源和溫度設置,以確保獲得最佳效果。PX-1000還配備了先進的精確計時機制和精密的軟件包,可確保對蝕刻/ashing過程進行準確監控,從而實現快速、輕松的設置。PX 1000提供精確的溫度控制,可對其進行微調以增強蝕刻/灰度處理,並在獲得最大蝕刻/灰度次數後自動關閉該過程。最後，MARCH PX-1000 Asher/Etcher配備了多種安全功能，包括一個空中冷卻機，確保該工具即使在使用易燃或可燃材料時也能安全使用。此資產還提供了靈活的自動化選項,以適應一系列分析需求,從而方便地根據用戶的特定需求定制模型。