二手 MARCH PX-1000 #9111369 待售
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單擊可縮放
ID: 9111369
Plasma cleaner
(1) set of Power and Ground Shelves
All standard system features
(2) MFC Controllers
Options available:
1000 Watt ACG10B RF Generator
Additional Shelf Sets
Additional MFC Controllers
Vacuum pumps for Oxygen service
Hydrocarbon pumps for non- Oxygen Plasma processes
Vertical door system.
MARCH PX-1000是一種精密的蝕刻器/asher,非常適合大規模的晶圓制造和半導體制造。它是快速高效地創建精確、高質量結果的完美工具。MARCH PX 1000具有「積極進取」的蝕刻能力,使工具能夠以驚人的速度和精確度在金屬和矽基板上進行蝕刻。蝕刻面積寬敞1000 x 600mm,使其能夠一次性蝕刻大量基材。蝕刻由強大的三相直流電動機提供動力,可以調整以提供所需的精度。該蝕刻器配備了幾種安全功能,可確保操作員在工作時的安全。它包括在安全門打開時禁用電源的互鎖系統和在激活時立即關閉設備的E-Stop。它還包括一個冷卻系統,保持溫度水平,防止組件變得太熱和風險損壞他們。在控制方面,PX-1000非常方便用戶。它在觸摸屏上操作,方便地顯示所有必要的設置並訪問各種設置,從而使用戶能夠針對各種蝕刻任務調整參數。該單元還預先編程了一組蝕刻配方,使操作更加簡單。此外,PX 1000還配有內置微處理器,使用戶能夠監控蝕刻進度、跟蹤基板參數(即溫度、壓力和濕度)以及記錄蝕刻數據,以便記錄其結果並進行所需的任何調整。總之,MARCH PX-1000是晶圓制造和半導體制造的理想工具,它以安全和方便用戶的方式提供高達1000 x 600mm的高效、精密蝕刻。用戶友好的界面進一步得到了微處理器的補充,該微處理器提供了詳細的監控和文檔功能,使其成為功能強大且用途廣泛的蝕刻器。
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