二手 MARCH PX-1000 #9156371 待售

MARCH PX-1000是一種蝕刻器/asher，用於蝕刻和清除來自矽、塑料、玻璃、金屬等不同材料的基板。它能夠以高精度蝕刻小至5微米的特性。MARCH PX 1000具有可容納20 x 20英寸面積的真空室。腔室溫度控制，提供良好的工藝控制。PX-1000利用射頻電源,當材料暴露於電源中時,它用於生成等離子體環境。等離子體環境允許在工業層面有效地處理蝕刻和灰化作業。PX 1000具有易於使用的用戶友好界面,可用於調整工藝溫度、壓力、功率水平等參數。它與蝕刻和灰化過程中使用的大部分氣體兼容。它還有一個強大的安全控制系統，有幾個聯鎖，以確保操作的安全。MARCH PX-1000利用多重氣體管理系統,允許同時使用幾種不同的氣體,使其能夠處理復雜的蝕刻和灰化作業。MARCH PX 1000配備了自動加載功能，可以讓多批材料快速輕松地加載。它還有一個排氣系統，能夠管理腔室的特殊排氣需求，從而減少任何有害的排放。PX-1000具有多種可選功能,包括長期蝕刻控制,可以監控和控制蝕刻操作的持續時間,以達到最佳生產效率。綜上所述,PX 1000是一款極其可靠且用途廣泛的蝕刻/asher基板處理器。它具有小至5微米的蝕刻特性，是工業生產元件的絕佳選擇。MARCH PX-1000配備了多種安全功能和控制選項，使其成為蝕刻和ashing作業的可靠高效選項。