二手 MARCH PX-1000E8 #9083266 待售

MARCH PX-1000E8是為高精度蝕刻和灰化程序而設計的先進蝕刻/灰化設備。它是為滿足半導體制造作業的苛刻要求而設計的，具有優異的蝕刻和灰分均勻性，具有高產率和器件生產可靠性。MARCH PX 1000E8采用先進的真空和等離子體工藝相結合，提供了無與倫比的化學選擇性、通量和均勻性。隨著先進的VCVD工藝、溫度控制氣體幕以及與外部設備的數字通信等技術的進步,PX-1000 E8能夠實現前所未有的蝕刻速率,同時始終提供高質量的表面。MARCH PX-1000 E8具有易於使用的10.4英寸觸摸屏界面,具有直觀的圖形用戶界面,使用戶可以輕松快速地為每個蝕刻過程創建配方。MARCH PX 1000 E 8強大的軟件和尖端硬件為用戶提供了流程靈活性、可擴展性和改進的流程性能。該系統還提供一個可選的額外真空泵，為制造商提供完整的蝕刻和灰分溶液。該單元還配備了兩個腔室尺寸（16「和25」），讓用戶根據蝕刻需求靈活配置蝕刻腔室。最大的腔室尺寸為高晶圓產量提供了更多的多功能性，而16英寸的腔室則支持較小的足跡處理。腔室高度1.2 m，最多可將600個晶圓裝入機器，從而實現高通量生產。PX 1000E8提供了一個方便的廢物處理工具，具有自動廢物收集和收集袋。廢物收集袋可以從資產正面分離出來，而不會中斷蝕刻或灰化過程。這樣便於處理蝕刻殘留物，以確保周圍環境的清潔和安全。為了保證可靠性和產品監控，PX-1000E8還配備了兩個攝像頭，在蝕刻和灰化過程中提供實時現場質量保證。此外，該模型可以使用遠程監控設備操作，允許用戶安全地訪問系統，而不必出現。PX 1000 E 8是一種用於高精度蝕刻和灰化過程的卓越蝕刻/灰化裝置,為半導體制造操作提供卓越的性能和可靠性。憑借其先進的VCVD工藝、溫控氣體窗簾、與外部設備的數字通信、直觀的圖形用戶界面以及便捷的廢棄物處理機,MARCH PX-1000E8為實現可靠的設備產量和卓越的設備質量提供了巨大的可擴展性和靈活性。