二手 MARCH PX-1000E8 #9145023 待售

MARCH PX-1000E8
ID: 9145023
優質的: 2000
Plasma cleaners 2000 vintage.
MARCH PX-1000E8是第四代蝕刻器/asher。它是一種可靠、精密的設備,能夠提供卓越的蝕刻和灰化質量和性能.適用於半導體行業的廣泛應用,包括矽、III-V材料的蝕刻和灰化,以及微電子互連。MARCH PX 1000E8具有強大、低壓、超純、化學蝕刻和灰化系統。該裝置具有集成的高溫電阻蝕刻和灰化室、高分辨率、低噪聲光學顯微鏡、用於裝載和卸載基板的多個端口、無需操作員幹預的裝載基板的自動加載機制以及便於編程過程參數的自動化控制接口。PX-1000 E8設計用於提供均勻、可控的蝕刻和灰化,同時確保化學試劑的汙染和稀釋最小。它配有頂層鏡面塗層,減少化學吸收,促進地下抗蝕刻、灰化等過程的均勻性。它包括可調節的工藝參數(如溫度、流速和壓力)以及面包房功能,允許用戶快速、精確地調整和優化其工藝。MARCH PX-1000 E8還包括先進的安全功能,包括自動安全關閉、氣體屏蔽以及內部壓力和溫度傳感器。此功能可確保機器始終在安全參數範圍內運行,並防止腐蝕和灰化室過早損壞。除了蝕刻和灰化,PX 1000E8可用於增強沈積,抗剝離和窄帶塗層。該工具的高級控制界面和自動加載機制相結合,提供了復雜蝕刻和灰化過程的無縫自動化。MARCH PX 1000 E 8是一款高效可靠的蝕刻/灰化工具,適用於需要高性能工藝的半導體制造商。其先進的功能和強大的安全系統確保資產以最高效率運行,並始終提供卓越的效果。
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