二手 MARCH PX-250 #9155556 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9155556
Plasma etcher
Controlled environmental vacuum chamber
Used for PR descum and oxygen plasma treatment
Power supply: 115/200 - 230 V, Single Phase, 60/50 Hz.
MARCH PX-250是一種高性能的蝕刻器/灰化器，旨在為實驗室樣品和工業零件提供精確的蝕刻和灰化能力。該設備能夠處理基材和膜基樣品，並在一個單元中提供最多三個獨立的蝕刻/灰分功能。MARCH PX 250非常適合各種材料，如玻璃、矽、III-V化合物、軟氧化物材料、聚合物和半導體。PX-250具有兩個帶有獨立電源的蝕刻/灰室。每個腔室都裝有一個射頻源，最多可提供20瓦功率，並有一個ICP源，最多可提供200瓦功率。ICP源還提供了卓越的控制和精度,可同時支持射頻和直流電源,從而在蝕刻/灰燼工藝中產生精確的蝕刻尺寸和一致性。PX 250蝕刻/灰化室頂部還具有兩個獨立的石英儲罐，專門設計用於支持蝕刻和灰化工藝。這兩個坦克都裝有獨立的排氣口，能夠處理各種材料和協議。MARCH PX-250提供了多種高級功能,以幫助確保可靠和可重復的過程結果。該系統包括一個壓力控制器和一個精確溫度控制器，用於監測和維持蝕刻室和灰室的溫度水平。MARCH PX 250還具有現場發射顯示功能,可對壓力、時間和溫度參數進行編程和控制。該單元包括一個氣體供應連接，可以很容易地連接到氦氣、氧氣或氮氣的來源，從而實現整個過程的靈活性和控制。PX-250專為易於使用而設計,可快速配置以滿足特定的蝕刻/灰燼要求。該機器支持各種蝕刻和灰分協議,包括定時蝕刻、步進蝕刻和批量蝕刻。此外,PX 250蝕刻/灰化工具還包括一個USB端口（可輕松進行軟件更新）和一個MET/CAL校準包（可快速準確地驗證過程參數）。總的來說,MARCH PX-250是一個高級蝕刻器/asher,在單個單元中提供精確和靈活性。憑借其強大的能力和直截了當的設計，資產是需要精密蝕刻和灰化的廣泛科學和工業應用的絕佳選擇。
還沒有評論