二手 MARCH PX-250 #9156391 待售
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ID: 9156391
Plasma etcher
(3) Shelf configuration
Dual flow raters for gas
300 or 600 Watt RF Generator.
MARCH PX-250是一種蝕刻機設備,其設計目的是在從工業到醫療的各種應用中提供先進的幹燥處理能力。這種高效和具有成本效益的工具使用四種不同的工藝技術在各種基板上創建精確和一致的輪廓,以取得預期的結果。該系統采用高科技組件,包括電源、電阻加熱器、真空室以及兩個集成的蝕刻和灰燼室,以提供出色的操作和性能。MARCH PX 250的主要特點是其高階段蝕刻和asher性能。該裝置采用電阻加熱器和緊密耦合的高功率真空室,以確保蝕刻室內的溫度保持一致,並且對於蝕刻和灰化過程是安全的。此外,該機器還具有自我調節功能,包括局部控制功能,允許用戶調整諸如溫度、氣流、壓力以及沈積周期等參數。此外,整個工具由計算機輔助程序控制,以確保每一次蝕刻和asher過程安全和適當地完成。資產還包括兩個獨立的蝕刻室和asher室。每個腔室采用不同的工藝技術,使操作者能夠控制蝕刻氣體和灰燼氣體的濃度。腔室分開的加熱元件也有助於確保在整個過程中保持正確的氣體輪廓。此外,該腔室還包括一個遠程等離子體蝕刻器,以提供納米精密蝕刻。蝕刻器還會在每個周期產生一個中頻脈沖,使操作員能夠微調過程以獲得更好的結果。PX-250提供了多種其他功能,以提高流程效率。它的自動氣體洗滌器在進入腔室之前清除了過程氣體,允許更清潔的蝕刻和灰化過程。此外,該模型的氣體控制機制能夠精確控制壓力,而其先進的大氣調節提高了過程的穩定性。最後,PX 250可以與額外的物料處理系統,如晶片批裝載機或晶片單裝載機結合使用,以實現簡化的幹處理任務。總之,MARCH PX-250是一種高性能幹式加工工具,提供高級蝕刻和灰燼處理功能。這種蝕刻機設備可以采用四種不同的工藝技術,在各種基板上實現精度,並具有可調參數,從而使用戶能夠獲得所需的結果。此外,該系統還包括兩個獨立加熱的蝕刻和灰化室,一個自動氣體洗滌器和一個遠程等離子體蝕刻器,以提供納米精密蝕刻。
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