二手 MARCH PX-250 #9233379 待售
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單擊可縮放
ID: 9233379
System
Solid state: 13.56 MHz
RF Generator: 300 Watts
Internal RF matching network
Automatic tuning
Stainless steel chamber
(3) Adjustable electrodes / Shelves: 177.8 x 203.2 mm (7" x 8")
(3) Process shelves can be configured powered RF
(2) Mass flow controllers.
MARCH PX-250是一種精密蝕刻器/asher,在要求苛刻的工業應用中為可靠且可重復的性能而設計。它采用堅固的三區熱墻設計,確保了卓越的蝕刻效果。MARCH PX 250設有高溫爐,每區四種不同的加熱元件。爐的溫度範圍從環境到1000 °C,加熱元件可以達到高達1100 °C的溫度。另外,蝕刻器具有可編程的峰值溫度速率,可以精確控制加熱速率。集成的PLC控制系統允許用戶對精確參數進行編程,以確保可重復性。PX-250還配有高分辨率CCD攝像頭,可精確對準基板。相機可以設置為中心加權對準或邊緣加權對準。基材再在高溫爐下運輸蝕刻。工藝室內的壓力由壓力調節器調節,確保精確的蝕刻環境。PX 250的先進設計還采用了集成過程氣體輸送系統,可選的次大氣壓力低至-600毫巴。各種工藝氣體可根據要求送入工藝室內,用於不同基材的蝕刻。還包括一個氣體排氣系統,可用於去除蝕刻機中的有害副產品。MARCH PX-250設計用於低熱勘探的精確蝕刻結果。其堅固的結構和集成的高級功能使其非常適合太陽能電池制造、PCB加工和半導體器件制造等廣泛的工業應用。其精確度和可重復性使其在這些行業受到制造商的高度追捧。
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