二手 MARCH PX-500 #194996 待售

MARCH PX-500
ID: 194996
優質的: 1999
Plasma cleaner, 1999 vintage.
MARCH PX-500是一個蝕刻器/asher,設計來處理各種蝕刻和ashing操作。這種裝置可以加工鋁、不銹鋼和選擇具有多種薄膜類型的復合材料,如光刻膠、屏蔽和保護膜。MARCH PX 500具有一個大的加熱處理室,可支持從小硬幣尺寸到大陣列尺寸的多個面板尺寸。上部面板傳輸設備設計用於將產品往返於加熱的加工室。該系統包括提升銷、電機和皮帶饋線,以確保面板對準精度。該腔室加壓時使用的是氙氣或氮氣,以確保均勻的蝕刻和灰化。PX-500還擁有一個高功率的蝕刻裝置,它允許非常精細的蝕刻分辨率,下降到1微米。Ashing machine is highly configurated,允許快速熱Ashing以及射頻Ashing。這兩種工藝都是為了達到盡可能高的晶圓清潔度而設計的。PX 500使用了強大、高精度的運動工具來精確定位蝕刻頭,以及金屬屏蔽面罩和燒蝕面罩到精確的部位,這導致零件的非常精確的蝕刻和灰化。MARCH PX-500還具有功能強大的16位微處理器,可控制蝕刻和灰化的各個方面。這包括直觀的觸摸屏界面、配方編程和全面的自動化。MARCH PX 500還具有內置診斷功能,使維護和維護更加輕松高效,確保最大正常運行時間。PX-500結構堅固,並有1年保修作為後盾。它是一種可靠、高效的蝕刻器/asher,非常適合各種生產應用。
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