二手 MARCH Super Plasmod #9089873 待售

MARCH Super Plasmod是一款蝕刻器和灰化器,旨在為各種應用程序提供精確的蝕刻和灰化。它是一種多合一的蝕刻和灰化設備，能夠提供快速的循環時間，可擴展的工作場所，以及各種各樣的工藝配方。Super Plasmod寬敞的石英熱區保證了一致的工藝結果,溫度控制精度在2°C以內。它還具有變頻等離子體發生器，允許用戶根據應用方便地調整等離子體頻率。MARCH Super Plasmod的雙氣體輸送系統為每個化學蝕刻工藝流程提供各種前體氣體和惰性氣體，並控制氣體壓力、總氣流、反應氣流和氣體平衡。該單元還采用專門設計的淋浴頭，在目標基板上提供均勻的前體輸送。該機還設有內置工藝監控器，記錄總氣壓、總氣流和基板偏置電壓，幫助用戶獲得最佳蝕刻效果。Super Plasmod還配備了用於監控蝕刻和灰化過程的全尺寸視口，以及用於減少汙染的雙真空工具。它還具有自動清洗資產，以確保蝕刻室永遠不會暴露於外部電源。MARCH Super Plasmod具有多種安全機制，包括運動探測器、閉環水再循環模型和緊急關閉開關。此外，該設備還具有各種用戶友好的功能，如逐步操作指令和多語言操作。為了確保用戶每次都能得到一致的結果，Super Plasmod擁有可調節的參數分隔符，允許用戶輸入和保存不同配方的不同參數。MARCH Super Plasmod是先進的蝕刻和灰化系統，非常適合工業和學術應用。它具有精確、精確控制蝕刻和灰化過程所需的所有參數的功能,並配備了先進的安全功能和用戶友好的設計功能。