二手 MARCH XTRAK #9258237 待售

MARCH XTRAK
ID: 9258237
Plasma cleaner.
MARCH XTRAK是為現代半導體設施設計的最先進的國家蝕刻器/asher。此精密工具提供高通量蝕刻和灰化過程,可根據每個特定應用程序的要求進行定制。XTRAK配備定制設計的高溫爐,安裝在高精度、多軸運動舞臺上,並配有激光金屬蝕刻器。這允許在真實的3D幾何中完成過程,從而實現無與倫比的精度和精確度。MARCH XTRAK的中型晶片最大功率攝入量為80 KW,大型晶片最大功率攝入量為91 KW。XTRAK設計用於多種蝕刻和灰化過程,如金屬蝕刻、光刻蝕刻、退火、濺射沈積和圖案編輯。這臺高精度機器能夠產生無與倫比的分辨率模式。MARCH XTRAK還提供了一個集成的基板清潔系統,該系統旨在在蝕刻圖樣之前快速有效地清潔表面。這樣可以在晶片上獲得最佳結果。XTRAK的設計也考慮到安全和操作員保護。該工具方便的PLC控制系統與工廠自動化系統集成,並提供了可靠的安全和管理框架。這樣可以確保所有安全程序都得到遵守,並且所有操作都能順利進行。MARCH XTRAK還配備了聚酰亞胺門以增加人員保護。總體而言,XTRAK是一個出色的蝕刻器/asher解決方案,旨在為您的半導體設備提供無與倫比的精度和精確度。該工具具有出色的進氣口、出色的安全功能,並為高通量蝕刻和灰化應用提供了完美的平臺。無論您需要執行光刻蝕刻、濺射沈積、退火或圖樣編輯,MARCH XTRAK都是獲得優質結果的理想選擇。
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