二手 MATRIX 105 #188833 待售

MATRIX 105是一款設計用於制造業領域的高精度蝕刻器和asher。它非常適合先進的原型設計、小批量生產和高復雜性零件的生產。105提供自動化的裝卸功能,以及優越的離子能和光束均勻性,在較大的區域內實現均勻的深度。MATRIX 105利用具有可編程電網電壓的射頻感應等離子體源,可以精確調整以滿足客戶的需求。其可調工藝參數在蝕刻和灰化工藝中提供了更高的工藝穩定性和更高的精度。多語言用戶界面使機器操作方便，並且包括直觀的用戶友好圖形用戶界面。該機適用於各種蝕刻和灰化應用，包括DRAM門蝕刻、晶圓拋光和蝕刻孔工藝。105配備了可提供出色運動控制和精度的旋轉索引器和線性同步電動機。該工件通過兩件式夾具牢固固定到位，無需使用笨重的微操縱器，進一步提高了重復穩定性，減少了蝕刻室加載時間。它還配備了一系列保護系統，以確保安全並保持長期的操作可靠性。MATRIX 105可與多種蝕刻氣體如氯氣、氧氣和氧氣結合使用，具有離子能量、離子轟擊表面溫度、蝕刻速率均勻性、可重復性等一系列參數。可以根據要求調整工藝參數，以實現最高質量的精細控制。與玻璃、陶瓷、聚合物、金屬等多種基材兼容。總體而言,105是高級蝕刻/灰化應用程序的絕佳選擇。可調的工藝參數和自動化的裝卸特性使得這種蝕刻器和asher成為精確、高質量的結果的理想選擇。它使制造商能夠減少開銷和提高效率,從而實現更明智的業務決策和更快的生產周期。