二手 MATRIX 105 #9032614 待售

MATRIX 105 蝕刻器/asher是一種高度先進的化學蝕刻和灰化設備，用於半導體制造和其他微電子應用。它采用濕法化學蝕刻的精確度，並與幹法蝕刻工藝的加工速度相結合。該系統采用超高真空處理室，最多六個真空端口和一個負載鎖定單元。這使得惰性、反應性、幹燥和潮濕的過程能夠高效和清潔地進行。在蝕刻室內，使用先進的機器人機器來管理蝕刻過程。該機器人被編程為以可變速率精確地移動晶片、基板和其他蝕刻元件，以獲得最佳蝕刻質量。這提供了在均勻深度和沿蝕刻輪廓清潔的高蝕刻速率。105設計用於同時運行ashing和重度蝕刻過程。灰化是一個過程，其中多晶矽的非導電層，如氧化物，從表面除去。灰化是準備表面作進一步處理所必需的。重度蝕刻用於在晶圓、基材和其他材料中創建圖樣和形狀。利用脈沖模式蝕刻，該工具可以精確控制蝕刻深度和完整性，從而實現最高效、最精確的蝕刻過程。MATRIX 105還具有冷壁特性，有助於減少顆粒汙染，提高蝕刻均勻性。冷壁降低了腔室內的熱量水平，從而降低了熱效應，提高了輪廓均勻性。此外,對於關鍵蝕刻過程,可以啟用和監控氣流端點檢測（GFED）,以確保精確的蝕刻端點。最後，全套控制和測量能力使105成為同類系統中最先進的系統之一。它具有易於使用的過程監視器,可以檢測和記錄過程參數,如壓力、溫度、電壓和電流。然後可以存儲和分析這些數據,以確保每個蝕刻和灰化應用程序都能獲得最佳結果。