二手 MATRIX 106 #9144783 待售

MATRIX 106
ID: 9144783
晶圓大小: 6"
Resist asher, 6".
MATRIX 106是一款功能強大且可靠的蝕刻器/asher。它是專門為提供精確可靠的蝕刻和灰化工藝而設計的,利用高溫、1000°C的全陶瓷反應管。反應管具有均勻的溫度曲線,並由850°C至1000°C之間的管狀燈持續加熱。此外,還可以設置冷卻和再加熱周期,並控制微處理器。反應室設計為圓柱形和中軸,用於向下蝕刻到基材中。該腔室還設計用於確保根據蝕刻和灰化工藝的性質在整個基板上實現均勻的溫度和最佳的蝕刻速率。106還設有一個帶有強制空氣冷卻劑的冷卻系統,以確保反應管保持在均勻的溫度,並且溫度分布一致。此外,內置變速泵,可調節冷卻風扇,調節反應管的速度和溫度。全陶瓷反應管內部塗有氧化鋁進行化學蝕刻,或二氧化矽用於各種材料和基材的灰化工藝。MATRIX 106的用戶界面相當容易使用。它包括一個液晶屏,用於設置時間和溫度以及監視過程。此外,還提供了一組物理開關和按鈕來控制系統的過程和安全特性。所有這些控件都方便地位於機器的前部,這樣用戶就可以用最少的訓練輕松操作它。106還包括安全操作的一系列安全功能。有一個壓力開關來檢測反應管中的過量壓力,同時提供一個閥門來控制或阻擋任何潛在的泄漏。其他功能包括壓力繼電器和緊急電源開關,用於控制對電源的訪問並在出現緊急情況時立即關閉。總體而言,MATRIX 106是一款可靠且功能強大的蝕刻器/asher。其先進的特性和安全特性使其成為各種材料和基材的蝕刻和灰化工藝的理想選擇。
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