二手 MATRIX 106E #293747965 待售

MATRIX 106E是為半導體和研究應用而設計的尖端蝕刻器和asher設備。這種最先進的工具提供了先進的技術和功能,使其成為各種蝕刻和灰化過程的通用且高效的解決方案。106E的一個關鍵特點是它在加工過程中的精確控制和均勻性，通過先進的等離子體技術和高度可配置的工藝室相結合實現。該系統利用高密度等離子體源，生成一個用於蝕刻和灰化過程的反應性環境。等離子體源能夠提供高離子密度和能量，從而實現高效的材料去除和表面改性。MATRIX 106E的蝕刻能力允許從高選擇性和過程控制的基板中精確去除材料。該單元配備了一系列氣體註入系統，可用於將各種工藝氣體引入腔室，以實現特定的蝕刻化學。此外,106E還配備了一臺先進的射頻電源輸送機,能夠精確調整過程參數（如功率、壓力和氣流率）,以優化蝕刻性能。除了蝕刻能力外，MATRIX 106E還配備了先進的asher功能，用於從基材中剝離有機汙染物和光致抗蝕劑。該工具利用等離子體和氣體化學的結合，有效地去除有機膜，同時盡量減少對底層材料的損害。Asher過程是高度可控的，允許精確調整參數以達到理想的清潔效果，而不會損害基板的完整性。106E設計時考慮到用戶的便利和安全,具有用戶友好的界面和全面的安全聯鎖,以確保可靠的操作。資產配備了先進的流程監控功能，使操作員能夠實時跟蹤流程參數，並根據需要進行調整，以保持最佳處理條件。此外,MATRIX 106E具有高度的工藝靈活性,能夠容納各種基材尺寸和材料。該模型可以很容易地配置為支持不同的工藝化學，使其適用於半導體制造、MEMS制造和研究實驗室的多種應用。總體而言,106E是一款尖端蝕刻器和asher設備,可為各種蝕刻和清潔應用程序提供卓越的性能、精確度和可靠性。其先進的技術、用戶友好的設計和工藝靈活性使其成為尋求在材料加工和表面修改方面取得卓越成果的半導體制造商和研究人員的理想解決方案。