二手 MATRIX 302 #293811877 待售

MATRIX 302 蝕刻器/asher是設計用於半導體制造的高性能青銅蝕刻器和asher。它具有多種功能,可確保最大吞吐量和過程完整性。302采用壓鑄鋁制成的重型車架，提供剛性和耐用性。它采用模塊化概念設計,可提供多種解決方案。利用較大的工作區,MATRIX 302可以容納最大7.5英寸（194毫米）、最大20.4磅（9.2千克）的各種基材。蝕刻器采用集成冷卻系統控制溫度,該系統有助於在整個工作區域保持一致的溫度,從而提供過程穩定性。其PCL操作控制器為用戶提供了調節許多工藝參數的能力，包括溫度、壓力、蝕刻時間和氣流；這種控制和靈活性的結合使用戶能夠同時運行多個進程。該蝕刻器具有獨特的多噴嘴隔離功能，通過降低交叉飽和度來提高均勻性，同時多噴嘴可用於各種蝕刻速率。為確保過程安全，所有氣體輸入都通過質量流控制器進行布線，該控制器可提供多達八種氣體的穩定、一致的流量。302的大室設計為快速疏散，以高效的過程周轉。它還提供架空照明，使基板加載和過程開發的監測更加容易。該蝕刻器是為相對易於使用和操作而設計的。它配備了觸摸屏控制和監控系統，使用戶能夠快速安全地設置流程。該系統還允許遠程故障排除和過程監視,並包括在意外進程中斷時的關機保護。MATRIX 302蝕刻器專為高容量作業的快速周轉而設計。它提供了通用的配置和較低的維護成本,確保了可靠的操作和較長的生命周期性能。