二手 MATRIX 303 #9396142 待售

MATRIX 303是牛津儀器公司建造的全自動蝕刻器/asher。它旨在為各種新興技術（如納米級制造）中使用的光刻膠和薄膜實現快速蝕刻。因此，它已成為全球研究實驗室中備受追捧的工具。303由幾個組件組成。它包括一個集成真空卡帶站、自動化控制設備和清潔站以及一個直接寫入光刻工具，這是系統的心臟。此工具使用x-y級在基板上移動相片掩模或光掩模,從而能夠快速準確地蝕刻20 nm以下的特征尺寸。該單元配備了高端成像單元，可實現極其精確的圖像對準，這在納米制造中至關重要。該單元還裝有掩模對準機，可確保在曝光前準確放置光掩模。集成到MATRIX 303中的不銹鋼卡帶站使基板支架能夠快速輕松地裝載到機器中，從而無需手動裝卸晶片，實現快速蝕刻速率。自動控制工具使用戶能夠設置特定參數,例如蝕刻時間和壓力,以及監控蝕刻過程的進度。此外，內置在303中的先進清潔資產確保了良好的蝕刻性能。兩步清洗過程有助於消除蝕刻過程造成的殘留，保護設備，防止基材汙染。MATRIX 303是適用於高端研究實驗室和中小型生產的高性能、可靠的工具。其先進的特點、堅固的構造和簡單的操作，使其成為需要高精度和高速度蝕刻的用戶的絕佳選擇。