二手 MATRIX 403 #14205 待售

MATRIX 403
ID: 14205
Etchers 200-240 Volts 50/60Hz 1 Phase Temperature controlled chuck Cassette loading Capable of 4" to 6" wafers Down Stream isotropic etcher for oxide, poly or nitride films ENI OEM 6 13.56 MHz RF generator BROOKS AUTOMATION 6100-36 handler ENI OEM-6M-11781 generator.
MATRIX 403 蝕刻器/asher是一種先進、多功能的幹式蝕刻工具,專為先進的生產行業而設計。它具有許多獨特的功能,例如高級軟件和硬件工具,使操作員能夠控制其生產需求並提供最高級別的效率。403是一種自動蝕刻器/asher,旨在提供幹蝕刻加工和灰化。它具有0.8毫米熱邊界層保護的單室系統,允許均勻蝕刻和灰化溫度高達1000 °C。這種先進的設計允許最大程度的蝕刻均勻性,使其成為多種基材中高度詳細蝕刻圖案的理想選擇,如SiO2、SiN、SiSiC等材料。MATRIX 403專為最大的多功能性而設計,內置軟件和硬件工具以實現完全控制。軟件允許復雜的蝕刻和灰化過程,如各向同性蝕刻、定向蝕刻和工藝優化。預定義的程序可以很容易地實現,以完全控制蝕刻和灰化參數。硬件組件(如腔室、源和目標)采用觸摸屏和易於更換的組件進行設計,以最大限度地提高生產效率並降低汙染風險。403的復雜界面和控制面板提供了完整、用戶友好的體驗。用戶可以輕松地訪問流程相關信息和參數,便於監控流程並快速調整設置。該系統還具有標準監控和反饋功能,能夠快速高效地進行故障排除,優化流程時間並提高整體效率。為了最大程度地提高安全性,MATRIX 403提供了多種緊急關閉和通風選項,以及用於腔室回收的高壓密封。蝕刻和灰化系統還提供靈活的調度和警報,允許自動操作和檢測任何故障部件。403是任何生產地板的絕佳補充,適用於種類繁多的材料和基材。其先進的設計、安全功能、強大的工具和用戶友好的界面使運營商能夠以最高的效率和安全標準快速有效地滿足其生產需求。
還沒有評論