二手 MATRIX 403 #9250129 待售

MATRIX 403
ID: 9250129
晶圓大小: 6"
優質的: 1992
Oxide etchers, 6" 1992 vintage.
MATRIX 403是為微/納米電子制造而設計的高精度蝕刻器/asher。這種多合一光刻系統非常適合生產具有高分辨率和重復性的超精細特征和圖案。它能夠進行直接寫入、提升、正負抗蝕性圖樣、多層處理、濺射塗層和氧化物蝕刻,從而在基板上產生精確的圖樣。403具有靈活設計的模式發生器,能夠生成任何可修復的線路/空間模式。它還包括一個專用的精密運動控制系統,用於精密蝕刻和灰化,以確保高精度和可重復性。配備了變速電機驅動器、XY臺、微米分辨率位移傳感器等一系列兼容傳感器和控制器,用於測量工件的位移以進行精確蝕刻或灰化。MATRIX 403是一個獨立的、精確的蝕刻器/asher,使用先進的、用戶定義的可以序列,並且對於電介質、金屬和聚合物的幹蝕刻效率很高。它配備了計算機控制的XY級,用於工件上的精確定位和圖案蝕刻。計算機控制階段與軟件相結合,使得實現超精細特性具有可重復的精度。403還能夠與其他工藝集成,包括光刻紡紗機、塗層系統、氫等離子體系統和蝕刻後烘烤系統,從而為您的蝕刻需求形成完整的解決方案。它具有強大的用戶界面、緊湊的設計和相對較低的擁有成本。它的可自定義功能允許用戶進一步微調復雜結構的蝕刻和灰化過程。綜上所述,MATRIX 403是一種堅固、精密的蝕刻器/asher,旨在快速準確地在基板上產生超精細的特征和圖案。它配備了強大的模式發生器、精確的運動控制系統以及易於使用的計算機控制的XY舞臺,並且能夠與其他進程集成,實現更加通用的模式功能。403具有用戶友好、低成本的設計,是微型/納米電子制造的理想選擇。
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