二手 MATRIX Cheetah 200 #9400266 待售

MATRIX獵豹200是一款針對研究和工業環境中的高效、精密蝕刻/灰化應用而設計的蝕刻器/灰化器。其整體尺寸為510mm寬，690mm深，203mm高，設計緊湊。獵豹200的建造由可靠的非腐蝕性不銹鋼室、手柄和外殼組成。隔熱室蓋由厚厚的激光切割鋁結構組成，在高達1200 °C的溫度下工作時提供外部強度和安全殼。蝕刻器/灰化器配備了專利氣體輸送洗滌設備，通過在氣體到達腔室之前過濾氣體中的超細顆粒來營造幹凈可靠的腔室氣氛。還配備了先進的室溫報警器，維護安全的工作環境。MATRIX獵豹200具有精密控制的蝕刻/灰燼高級蝕刻/灰燼工藝。它易於使用的運動控制參數設置提供了對蝕刻/灰化過程的精確控制。它在基板頂部和底部的最大蝕刻/灰化時間可達60分鐘,溫度劑量範圍可達1200 °C。Matix獵豹200配備了觸摸板控制界面。它允許訪問蝕刻/ashing參數、何時停止和進程的總經過時間。它還控制用於在蝕刻/灰化過程中保護腔室大氣的CO2反饋。腔室通過兩個鹵素石英燈加熱，提供精確的溫度和均勻性。溫度可以1°C為增量調節,可通過嵌入式數字熱電偶進行監控。它還配備了隔離冷卻系統，向腔室提供冷卻空氣，以確保蝕刻/灰化工藝的標準和整體單元的可靠性。蝕刻器/asher還具有用於樣品裝卸的自動卡帶機。它允許最多25個基板同時安裝。樣品從卡帶工具裝卸,無需手動操作。為確保所有流程都遵循最佳蝕刻/灰分協議,MATRIX Cheetah 200配備了經過驗證和測試的預編程設置,以便每次蝕刻/灰分都能獲得可靠和可重復的結果。集成的數據日誌記錄資產可以方便地進行跟蹤,並能夠存儲設置和配方以供將來使用。使蝕刻器/asher以最小的清潔周期半自動和連續運行,因此它可以在下一次蝕刻/ashing作業時運行。獵豹200具有優異的長期過程穩定性和均勻性，導致一貫可靠的結果。