二手 MATRIX Jaguar 300MM #9220309 待售

MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher是專門為晶圓和圖案化基材等大型基材的蝕刻和灰化而設計的最先進的蝕刻和灰化設備。該系統能夠產生至少0.6 um的蝕刻,並在5英寸至300毫米大小的大型基板上提供均勻蝕刻的表面。該裝置提供各種蝕刻化學物質，包括硝化、氫氟化、磷化、硫化等。捷豹300MM利用反應性離子蝕刻、電子回旋共振和等離子體蝕刻等先進蝕刻技術，使用戶能夠為最佳速度、質量和局部性量身定制蝕刻工藝。MATRIX Jaguar 300MM由不同的子系統組成,包括Cassette-Stage、Gas Box、Air and Pump Utilities、Chamber和Advanced Control Machine。Cassette-Stage允許用戶快速準確地將大型基板放置在蝕刻室中進行處理，並由調平機構、盒式手柄和真空卡盤工具組成。Gas Box資產提供計量噴嘴，用於將蝕刻化學物質引入腔室，而各種閥門和控制器在對氣體和蝕刻化學物質進行反應時提供精確的精度。該模型的Air and Pump Utilities提供惰性和非惰性大氣進入腔室，由一個噴射冷卻的渦輪分子粗加工泵、一個鈦驅動的旋轉泵以及其他幾個部件組成。Chamber設備是針對蝕刻和灰化過程優化的定制設計環境，由電子回旋共振發生器、抗雷達和對準用途的靜電卡盤和氣體分布歧管組成。高級控制系統集成了所有子系統，為用戶提供了蝕刻過程的實時數據采集，並允許優化過程參數。Jaguar 300MM Etcher/Asher具有出色的局部和過程控制能力,能夠進行高通量蝕刻和灰化。該裝置旨在提供出色的蝕刻輪廓和整個基板的均勻性，與其他蝕刻系統相比性能更好。Cassette-Stage、Gas Box、Advanced Control Machine等先進技術的融合，為用戶提供了一個強大靈活的平臺，以可靠準確地控制蝕刻和灰化過程。MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher的利用為用戶提供了大型基板蝕刻和灰化的最先進工具。