二手 MATRIX System One 105 #9098100 待售
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ID: 9098100
晶圓大小: 4"-6"
Automatic photoresist stripper, 4"-6"
Microprocessor controlled
Single wafer
Single cassette
Independent control of pressure
RF Power
Temperature
Gas flow
Substrate position
Includes:
ENI OEM-6 RF water cooled generator: 600 W
Wafer processing environment
Electrode assembly
Multi-step (3 Steps and over etch) process program
Butterfly valve
Phase magnitude detector to provide real-time RF impedance matching control
(2) Mass Flow Controllers (MFCs): TG 5 SLPM, 300 SCCM
Closed-loop control of substrate temperature (Temperature range: 80°C to 250°C)
Pin movement: Up and down.
MATRIX Equipment One 105是一款高品質的蝕刻器/asher,提供先進的材料處理能力。這種先進的蝕刻器能夠處理各種材料,如矽、玻璃、金屬和合金。系統One 105包括一個精密電蝕刻站、一個用於等離子體蝕刻的旋轉站和一個用於離子銑削的濺射站。它使用一個自動裝卸單元,允許預先編程的線路設置和高度準確的結果。這臺機器具有先進的靈活性,允許它在同一個循環中處理不同類型的材料。它還具有內置的故障保護工具,可避免損壞敏感部件和材料。該蝕刻器具有創新的加熱資產,可確保材料被均勻加熱到所需溫度。這確保了最佳蝕刻結果,無論材料或溫度範圍如何。此外,蝕刻器還包括一個控制模型,用於監視和維護一致的蝕刻過程以獲得最佳結果。它還允許多個蝕刻周期,並具有自動調諧控制功能,以提高精度和精度。在精度和耐用性方面,MATRIX Equipment One 105蝕刻器以合理的價格提供了最高水平的精確度和耐用性。離子銑削提供了非常精確的結果,等離子體蝕刻提供了改進的特征定義。這使得蝕刻器非常適合需要精確和精確的關鍵設備制造任務。蝕刻器還包括一個功能強大的可編程控制單元,允許用戶訪問詳細的編程和控制級別。這允許精確和一致的蝕刻,無論蝕刻的材料和類型.該蝕刻器是專為高度專業化的加工任務而設計的,非常適合處理微加工部件。該裝置既緊湊又堅固,非常適合在實驗室或其他生產環境中使用。這使System One 105成為尋求易於使用、可靠、準確且經濟實惠的蝕刻器的用戶的理想選擇。
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