二手 MATRIX System One 105 #9293401 待售
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ID: 9293401
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105是為金屬精加工、硬質和軟質材料、表面準備、標記、蝕刻和標簽而設計的蝕刻器/asher。它作為一個精密機器，提供了廣泛的應用。集成控制器使用B&R PLC2控件,可提供可靠、準確、快速的操作以及多種功能。這樣可以確保蝕刻器/Asher運行平穩,幾乎不需要維護。獨立控制器操作設備本身,可以通過附帶的PC接口進行監控。這樣可以方便地對系統進行編程和設置,從而允許批處理和重復運行。該裝置能夠蝕刻/灰化所有厚度範圍廣泛的材料。它可以處理軟和硬材料，如不銹鋼、鋁、黃銅、塑料、玻璃和其他復合材料。機器的水平工作面使用戶能夠處理尺寸不超過1000 mm x 800 mm的物料。橫梁允許最多五個工具快速更換,並且機動化,以便在項目期間進行輕松調整。該單元具有一系列功能，使用戶設置和操作變得簡單。它具有板載內存自我診斷警報功能,可以提醒用戶錯誤,使他們能夠快速采取糾正措施。它還配備了安全衛士，確保正在加工的材料和操作員安全。為了安全起見,整個工具符合VDE/GS和DIN標準。該裝置采用UV和IR二極管激光系統的組合，以高材料利用率實現高精度結果。紫外線激光源允許用戶加工塑料，而紅外激光資產則允許用戶加工金屬和玻璃。共有六個工作主管職位,可以同時進行快速處理。目標材料的多池圖樣簡化了加工，實現了均勻的表面光潔度。該模型采用低維護設計構建,允許安全高效的操作,而最短的停機時間。MATRIX Equipment One是一款功能強大的蝕刻器/asher,可提供快速的周轉時間和高質量的最終結果。這使其非常適合用於各種制造和工程應用,從而提供了方便、速度和準確性。
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