二手 MATRIX System One 302 #9201781 待售
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ID: 9201781
晶圓大小: 6"
Etchers, 6"
Electro-mechanical production system:
Nitride
Oxide
Polysilicon
Chemical reaction induced by a gas plasma
Etching main console module:
Process
Operator interface
Wafer transport
Card reader
Elevator
Microprocessor control
Etching power supply console:
RF Generator
DC Supply
AC Distribution
Gas distribution panel
Temperature / Pressure control
Physical specifications:
Main console Power supply Console overall
Width 25″ 25″ 25″
Depth 28″ 28″ 28″
Height 22″ 36″ 58″
Weight 100 lbs 310 lbs 410 lbs.
MATRIX Equipment One 302是一款高級蝕刻器/asher，設計用於半導體行業。它是一種全自動的高頻濺射工具，能夠生產高質量的薄膜塗層沈積物。302安裝在獨立或自動化的機器人系統上,由用戶友好的圖形用戶界面（GUI）控制,允許靈活定制蝕刻/灰化過程的參數。系統1 302具有內部高頻發生器（HFA）以產生有效蝕刻/灰化所需的電離和轟擊。該裝置能夠向目標表面提供高達3KW的射頻功率,並具有精確控制壓力和溫度的功能。電離等離子體密度是可調的，以及濺射產率，創造了一個高響應過程。302配備了監測和分析過程的先進工具。其中包括一個完全可編程的多通道分析器（MCA）和一個用於測量和分析蝕刻/灰化過程性能的高級陣列收集器（ACC）。該機器還提供安全的數據存儲和高達5 GB的存檔,從而能夠高效地對生成的數據進行後處理。MATRIX Tool One 302專為半導體工業而設計,具有許多先進的特性,如高濺射率和對蝕刻/灰化工藝的精確控制。這種蝕刻器/灰化器能夠生產高質量、一致的金屬顆粒薄膜，並提供卓越的工藝控制和可靠性。302易於操作和維護,是要求苛刻的半導體生產環境的理想選擇。
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