二手 MATTSON 165-91000-00 #293671335 待售

MATTSON 165-91000-00是一種先進的蝕刻或粉刷光刻設備。它有一個可調的氣流系統來優化工藝條件以獲得可重復的結果。蝕刻機利用水平環卡盤和浮動光潔板來減少地形。氣體分配單元配有帶可調孔的閥門二氧化矽管線，提供定向氣流，為蝕刻剖面提供更高的重復性，以及邊緣剖面的均勻性。該機還包括優質石英基板加熱擴散爐，對可重復溫度剖面進行精確溫度控制，對基板進行低熱沖擊。電容端點傳感工具集成到資產中，有手動和自動操作選項。該模型還可以與其他過程控制系統連接，如作業控制器和MES系統，以最大化過程控制和監控。在工藝能力方面,165-91000-00設計用於對幾乎所有基材（包括矽、石英、陶瓷、鋁和玻璃）進行精密蝕刻。此外，設備可以沈積和蝕刻金屬，如金、銅、鉻、鈀等，用於高分辨率應用。該系統具有廣泛的工藝範圍，允許從3 μ m到18 μ m的蝕刻深度。它還具有一個寬廣的工藝窗口，允許調整蝕刻速率，以獲得各種應用程序的最佳蝕刻結果。MATTSON 165-91000-00還提供了出色的流程重復性和統計流程控制工具，如SPC圖表。它還有一個板載流程軟件包，內含配方、流程參數實時實時監控、流程趨勢分析、統計流程控制以及流程數據存儲。該單元由聚四氟乙烯和不銹鋼構成，極耐用，耐腐蝕。所有玻璃和二氧化矽的連接都是密密麻麻的，機器有一條自清潔的氣體管線。此外,該工具還具有高級安全功能以及文丘裏加載和4英寸晶圓處理功能。總體而言,165-91000-00是一項先進的蝕刻/asher資產,可對幾乎所有具有高分辨率的基板進行精確蝕刻。它提供了卓越的過程重復性和統計過程控制工具，具有先進的安全功能和4英寸晶圓處理。該模型由特氟龍和不銹鋼構成，使其極耐用且耐腐蝕。氣體分配設備提供定向氣體流動，確保了重復蝕刻剖面和邊緣剖面的均勻性。