二手 MATTSON Aspen II #293619551 待售

MATTSON Aspen II 蝕刻器/asher是一種尖端設備,用於銅、鋁和其他金屬蝕刻和灰化工藝。它旨在為許多行業帶來好處,包括半導體封裝、PCB和MEMS。它能夠處理直徑達8英寸的晶片，最大蝕刻/灰室大小為26 "x 13.5" x 10"。Aspen II配備了數字真空系統，提供對壓力和溫度的精確控制。這種數字壓力管理使設備能夠保持最佳工藝氣氛，並具有廣泛的化學特性。數字真空機還確保每個配方均勻的過程均勻性。MATTSON Aspen II還配備了可編程的端點功能，允許為每個配方設置預定義的操作參數，這樣每次都可以進行精確的蝕刻/灰燼循環。這樣可以確保無論操作員、批處理大小或工藝條件如何,都能獲得可重復的結果。Aspen II的工藝室具有穿孔壁，提供了工藝氣體和蝕刻化學物質的均勻分布，同時還實現了廣泛的下遊蝕刻速率。這種穿孔的墻面設計還增強了蝕刻器/粉碎器的清潔能力，從而在工藝周期之間形成了一個清潔室。MATTSON Aspen II具有多區域RF發生器,可結合可重復的過程烹飪時間和充足的功率來滿足您的特定應用。Aspen II還具有先進的自我清除周期,可實現快速的過程後恢復和可重復的蝕刻/灰燼性能。除了蝕刻/灰分處理能力外，MATTSON Aspen II還能進行廣泛的後處理操作，如電化學鍍層、防腐蝕和塗層。Aspen II 蝕刻器/asher提供了一個強大可靠的處理平臺，具有增強的過程控制和可重復性。它還提供了廣泛的後處理選項,允許在單個工具中進行端到端或獨立處理。