二手 MATTSON Aspen II #293775105 待售

MATTSON Aspen II是用於制造半導體器件和集成電路的先進蝕刻器/asher。設備配置性強,能夠支持蝕刻、灰化和其他相關過程。該系統的核心由一個4軸運動控制單元組成，其中包括一個帶有運動平臺的高速級，以確保晶片在整個工作區域上的精確運動。此外，一臺經過精細校準的線性編碼器解析器位於運動平臺上，提供晶圓表面的詳細視圖，以確保精確的圖案。Aspen II具有最先進的蝕刻和灰化室,用於處理。它利用氣體輸送工具有針對性地、精確地輸送所需的蝕刻或灰化氣體。它還具有高精度晶圓定位資產，確保精確對齊。它還包含一個高質量的精確度和穩定性較高的光束掃描儀，以及一個用於確定晶圓位置的多通道電容傳感器。MATTSON Aspen II具有強大的用戶界面,設計為直觀易用。有經驗和新手用戶將欣賞易用性和全面的控制選項。豐富的控制界面允許對過程參數的調整，如溫度、時間、氣流、壓力等，在過程中容易調整。Aspen II可以與各種蝕刻和灰分食譜一起使用，這些食譜存儲在模型的庫中，可以快速訪問。這允許用戶快速選擇、加載和修改配方,以及訪問配方註釋、參數和日誌。簡而言之,MATTSON Aspen II是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供精確且可重復的處理。它結合了精密的運動控制、高品質的蝕刻和ashing腔室以及詳細的控制特性，使其非常適合集成電路和半導體器件的制造。