二手 MATTSON Aspen II #293775108 待售

MATTSON Aspen II是一種精密濕蝕刻設備，設計用於金屬和材料的蝕刻，如矽、砷、氮化矽、GaAsP和其他類似的III-V類材料。它采用了專利的反應性氣櫃腔室，提供了最佳的蝕刻工藝。該系統產生的圓形、正方形和矩形特征在廣泛的尺寸範圍內具有均勻性和精確度。在規格上，Aspen II是一種緊湊的蝕刻裝置，有兩種尺寸，最多16個反應堆。它包括兩臺功能廣泛的機動機器人，一臺先進的蝕刻氣體輸送機，以及用於精確控制流體流量和壓力的雙換能器。它具有0至115 PSI的高工作壓力範圍，適合蝕刻厚度達6微米。它還包括一個高靈敏度的光學監控工具，以確保蝕刻過程中的精度。MATTSON Aspen II旨在提供低NH4OH濃度的高精度蝕刻,並減少非目標材料的蝕刻。它具有先進的算法，可以在各種材料中獲得最高的蝕刻均勻性和精度。此外，緊湊的設計和多種配置允許同時蝕刻多達16個晶圓。該資產還具有較低的粒子排放率、從-20到+50C的溫度範圍以及確保精確在線監測的自動過程測試模型。Aspen II是用於微機加工及類似應用研究和生產的理想設備。其穩健的設計、創新的控制算法和各種配置使其成為適合所有材料精密蝕刻的系統。它的多功能性、準確性和可靠性使其成為蝕刻過程的寶貴工具。