二手 MATTSON Aspen II #293830478 待售

MATTSON Aspen II
ID: 293830478
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Inductively Coupled Plasma (ICP) system, 8" 1997 vintage.
MATTSON Aspen II是一款先進的蝕刻和灰化設備,旨在提供卓越的性能和質量效果。該系統采用了蝕刻和灰化技術方面的所有最新創新技術,旨在顯著減少各種過程所涉及的時間,從而實現卓越的效果。Aspen II由基於傅立葉變換的熱成像單元提供動力,該單元記錄熱事件,允許高速蝕刻和灰化。這臺機器還配備了內置的射頻電源和高頻發電機,能夠精確控制溫度、壓力和時間,以實現最佳蝕刻和灰化性能。MATTSON Aspen II先進的樣品架允許快速、方便地裝卸樣品,從而在整個過程中實現更大的控制和可靠性。樣品支架保持精確的溫度和壓力,以確保精確的蝕刻和灰化.自動識別功能易於識別可蝕刻和灰化兼容的金屬,並根據金屬類型調整工藝參數,以實現一致和可靠的性能。該工具還具有專有的高級蝕刻應用程序模塊(AEAM)。此模塊允許根據材料類型對工藝參數進行精確的微調,監控工藝周期和參數,以及日誌蝕刻和灰化操作。此模塊還允許用戶為重復應用程序編程和保存配方。Aspen II易於操作和維護,具有用戶友好、直觀的設計,允許用戶選擇所需的工藝參數,並快速設置定制的蝕刻和灰化應用程序。內置的流程管理器使用戶能夠通過資產的LCD觸摸屏輕松監控和控制操作。MATTSON Aspen II為眾多應用程序提供了強大的蝕刻和灰化功能。它可以處理包括不銹鋼、鋁、矽等在內的各種金屬,在廣泛的應用中效果優異。Aspen II具有先進的功能和強大的設計,是尋求卓越性能、優質效果和快速處理時間的專業人員的理想蝕刻和灰化模型。
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