二手 MATTSON Aspen II #9155758 待售

MATTSON Aspen II是一款高級蝕刻器/asher，設計用於多種工藝，從基材加工到最終模式形成。它能夠在五板非遠程設備上蝕刻和灰化直徑達300 mm的晶片。該系統采用全自動批式盒式磁帶裝載機和對齊器，無需手動裝填和對齊。為了更方便，它可以連接到一個行業標準的機器人裝載機。Aspen II獨特的設計使其能夠以最小的工藝變化和卓越的產品統一性提供高吞吐量。其雙區工藝室提供對工藝參數的獨立控制，使單元實現更高的工藝速率。該機還配備了可調節的晶圓溫度控制工具，有助於最大限度地減少基板溫度波動造成的缺陷。MATTSON Aspen II除了工藝時間快外，還提供精確的等離子體蝕刻和高品質的圖案。該資產針對蝕刻和灰化應用進行了優化,並使用高級配方來確保高質量的蝕刻和灰化過程。這還得益於可選的可變尺寸開口（用於最小尺寸特征）和高分辨率網格（用於精確圖案）。該模型還具有若幹安全功能，以保護操作員免受潛在危害。這包括用於檢測打開或損壞的盒式磁帶的紅外傳感器以及用於加載鎖和手動加載系統的自動禁用機制。Aspen II是一款多用途設備,可提供強大的性能、精確的控制和精確的陣列設計,可用於各種蝕刻和灰化過程。它簡單、用戶友好的設計允許方便的設置和操作，使其成為研發和生產的理想選擇。