二手 MATTSON Aspen II #9246107 待售
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已售出
ID: 9246107
晶圓大小: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen II是一個多功能蝕刻器/asher系統,旨在提供精確蝕刻/ashing功能。Aspen II提供了一系列高級功能,使其成為各種精密蝕刻/灰化工藝的理想解決方案。MATTSON Aspen II的主要功能包括：堅固耐用的構建,可提供耐用性和一致的性能、高達0.1 um的單色分辨率、帶有全彩色觸摸屏界面的過程控制,以及用於存儲過程配置和配方的一系列板載內存選項。這樣就形成了一個高度可靠和用戶友好的蝕刻器/asher。Aspen II專為易於使用而設計,並配備了多種功能以確保準確、可重復的性能。其高度敏感的Z軸高度感應接觸確保蝕刻零件的尖端均勻準確地接觸基板。這就產生了極好的蝕刻質量，這是非常可靠和一貫可重復。此外，它還配備了「表面跟蹤」技術，可以檢測蝕刻表面高度的變化，使MATTSON Aspen II能夠相應地自動調整蝕刻或灰度的深度。這樣每次都會產生一致甚至是結果。Aspen II配備了一系列元件，以確保在金屬零件上蝕刻時的精確且可重復的結果。其中包括集成的9位自動索引工具更換器、基板的自動對準、選擇性陽極氧化的陽極氧化配方、用於基板邊緣檢測的多接觸塞子以及用於過程控制的屏幕參數。所有這些特性確保了每次均勻準確的精加工，無論使用的是什麼金屬。MATTSON Aspen II旨在輕松集成到自動化流程中。它的高度穩定、低維護5000V/4000W直流電源確保了可重復和可靠的性能,並且可以集成到幾乎任何自動化過程中。此外,它還具有一系列專有軟件和固件,旨在提高流程控制和監控的效率、準確性和可重復性。對於任何尋求可靠、可重復和易於使用的蝕刻器/asher解決方案的人來說,Aspen II都是理想的解決方案。其先進的功能以及高度可靠和一致的性能使其成為各種精密蝕刻/灰化應用的理想解決方案。MATTSON Aspen II的一系列基於軟件和硬件的功能確保每次都有出色的蝕刻效果,其強大的構建和自動化過程控制功能使其成為尋求可靠結果和簡化操作的工業用戶的理想解決方案。
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