二手 MATTSON Aspen II #9401067 待售
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ID: 9401067
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Dryer, 8"
ICP Chamber
Chamber Process: Ashing
GEM and SESC Interface
Cool down chamber
Cassette stage
Transfer robot
AC Power box
Signal tower
(2) ADVANCED ENERGY CESAR1312 RF Generators
DC and AC Power supply
Chuck type: Standard
MILLIPORE Manometor
Chamber Pump
Gate valve
Thermocuple
Heater
Pressure switch
Board
(3) Control boxes
Power tap
Hard disk
Throttle valve
EMO
Pipes
Cable
LCD Monitor
Control panel
PC Included
Missing parts:
Robot blade
Robot extention geneva
Robot extention gear
Robot rotation genva
Robot rotation gear
Robot motor
Side slit door
Shattle pressure gauge
Shattle chamber slit door
Shattle motor
Power supply: 208 V
1994 vintage.
MATTSON Aspen II是一款最先進的電化學蝕刻/灰化設備，設計用於半導體行業的廣泛應用。該系統具有先進的電子設備，可精確控制蝕刻和灰化過程，從而使寬幅基板上的層更平坦、更厚。它配備了先進的無噴嘴沐浴裝置，對剝離過程提供精確精確的控制，允許可預測和可重復的結果。此外,集成的自清洗機通過自動消除汙染堆積,使刀具保持峰值性能運行。從創新的無噴嘴解決方案到快速蝕刻功能,該資產設計為可靠高效。Aspen II能夠在475°F的最高溫度下每小時處理多達50個晶片，並且可以用於多種材料，包括矽、鋁、鎢和鈦酸酯。集成軟件界面允許用戶優化設置和調整模型設置，以便高效運行。此外，由於其高效的真空泵和氣流傳感器，它提供了一種環保的解決方案，限制了溶劑的排放。這有助於確保蝕刻和灰化工藝符合環境和安全法規。MATTSON Aspen II的創新設計還促進了維護,使您可以輕松訪問所有內部組件。此外，設備的控制器管理著從源頭到底物的蝕刻過程，提供了精確和可重復的沈積和去除速率。此外，精密氣體輸送系統確保了精密均勻的氣流，從而優化了蝕刻和灰化工藝，有助於減少工藝變化並產生更好的效果。Aspen II是一款功能強大、可靠的電化學蝕刻器/asher單元。它為蝕刻和灰化過程提供精確和可重復的控制，從而在廣泛的基板上形成更平坦、更厚的層。此外,該機器先進的電子設備確保了可靠高效的性能,而其集成的自清潔工具和氣流傳感器確保遵守環境和安全法規。此外，其創新的設計允許方便的維護和精確的氣體輸送，導致優越的結果與最小的工藝變化。
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